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怎么用SRIM圖做出注入濃度對注入深度的關系圖
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| 這兩天用SRIM模擬軟件做了一下離子注入能量和注入劑量對注入層深度關系的研究。發(fā)現(xiàn)注入能量對注入深度的影響挺大,但是注入劑量對注入深度的影響極小,不同劑量的離子在靶材中的分布幾乎沒啥區(qū)別,所以很困惑。具體是這么做的,在設置總的注入離子量的時候,小劑量的輸入了2000,另一個注入量是這個的3.5倍,因此輸入了7000。這樣做不知道對不對?望高手答疑。謝謝。 |
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