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勿忘心安里鐵蟲 (小有名氣)
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[求助]
關于薄膜材料刻蝕后的臺階測量深度問題，用到了臺階儀器 已有2人參與
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一般在光刻顯影出圖形后進行刻蝕，刻蝕掉沒被掩膜遮住的部分，從而得到了相應圖形。（對了解的人來說就是句廢話，啰嗦了） 我拿到臺階儀下測量，發(fā)現(xiàn)很多時候測得多不準，分析原因可能是沒刻蝕干凈，殘留部分凹凸不平，使得原本只有一個臺階的竟然測出的圖形看到很多臺階。我想問問大家有沒有遇到同樣問題，或者說還有其他的原因所致�；蛟S還有更好的辦法測量臺階，希望能得到大家的回復，在此先感謝了。 IMG_20151013_205449.jpg IMG_20151013_212725.jpg IMG_20151015_201919.jpg IMG_20151015_202930.jpg |
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3樓2015-10-21 16:51:25
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4樓2015-10-22 17:47:18
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5樓2015-10-22 17:48:47
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