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勿忘心安里鐵蟲(chóng) (小有名氣)
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[求助]
關(guān)于薄膜材料刻蝕后的臺(tái)階測(cè)量深度問(wèn)題，用到了臺(tái)階儀器 已有2人參與
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一般在光刻顯影出圖形后進(jìn)行刻蝕，刻蝕掉沒(méi)被掩膜遮住的部分，從而得到了相應(yīng)圖形。（對(duì)了解的人來(lái)說(shuō)就是句廢話，啰嗦了） 我拿到臺(tái)階儀下測(cè)量，發(fā)現(xiàn)很多時(shí)候測(cè)得多不準(zhǔn)，分析原因可能是沒(méi)刻蝕干凈，殘留部分凹凸不平，使得原本只有一個(gè)臺(tái)階的竟然測(cè)出的圖形看到很多臺(tái)階。我想問(wèn)問(wèn)大家有沒(méi)有遇到同樣問(wèn)題，或者說(shuō)還有其他的原因所致�；蛟S還有更好的辦法測(cè)量臺(tái)階，希望能得到大家的回復(fù)，在此先感謝了。 IMG_20151013_205449.jpg IMG_20151013_212725.jpg IMG_20151015_201919.jpg IMG_20151015_202930.jpg |
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勿忘心安里
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4樓2015-10-22 17:47:18
2樓2015-10-21 10:13:42
yswyx 
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3樓2015-10-21 16:51:25
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5樓2015-10-22 17:48:47
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