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睡睡誰誰金蟲 (小有名氣)
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[求助]
磁控濺射用的分子泵報警
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| 在抽真空時，分子泵能正常工作。 可是到了關(guān)閉分子泵時，控制分子泵的模塊示數(shù)從400開始下降，下降到30左右時，機(jī)器就會報警！！！并顯示OLI，誰知道這是什么情況啊？？？這段時間一直這樣。。。。。。。。。。。 |
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【答案】應(yīng)助回帖
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睡睡誰誰: 金幣+10, 博學(xué)EPI+1, ★★★很有幫助 2015-10-22 14:01:59
睡睡誰誰: 金幣+10, 博學(xué)EPI+1, ★★★很有幫助 2015-10-22 14:01:59
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應(yīng)該翻看改分子泵的說明書。 參考： 檢查輸出線是否有短路現(xiàn)象；檢查前級真空度是否過低。 第18/28頁 https://www.docin.com/p-793944571.html |
4樓2015-10-22 10:15:18
qfw_68
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7樓2015-10-22 13:06:07
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8樓2015-10-22 13:09:14
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2樓2015-10-22 09:50:27
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3樓2015-10-22 09:50:40
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5樓2015-10-22 10:15:45
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怎么檢查前級真空度是否過低？。？ 6樓2015-10-22 12:58:29
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9樓2015-10-22 13:32:02
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10樓2015-10-22 13:38:12
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