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333哈哈新蟲 (初入文壇)
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[求助]
硅納米棒列陣制備的方法 已有1人參與
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| 激光干涉圖案化硅光刻膠模板后，硅納米棒列陣制備的方法。最好能給一些相關(guān)文獻(xiàn)。本科生做實(shí)驗(yàn)。。。。。。求幫助，謝謝 |
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【答案】應(yīng)助回帖
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
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你的問(wèn)題等價(jià)于硅top-down刻蝕工藝，典型干法工藝是rie，濕法工藝是金屬催化腐蝕。方法很多，這兩種最為常見(jiàn)。 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
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2樓2015-10-24 20:46:32
333哈哈
新蟲 (初入文壇)
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- 專業(yè): 金屬非晶態(tài)、準(zhǔn)晶和納米晶
3樓2015-10-25 09:43:03
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4樓2015-10-25 09:44:10
zh821217339
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5樓2016-03-28 22:19:36
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