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小木蟲論壇-學術(shù)科研互動平臺 » 材料區(qū) » 微米和納米 » 微納加工 » 硅納米棒列陣制備的方法
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333哈哈新蟲 (初入文壇)
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[求助]
硅納米棒列陣制備的方法 已有1人參與
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| 激光干涉圖案化硅光刻膠模板后，硅納米棒列陣制備的方法。最好能給一些相關(guān)文獻。本科生做實驗。。。。。。求幫助，謝謝 |
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333哈哈
新蟲 (初入文壇)
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- 在線: 57分鐘
- 蟲號: 3771900
- 注冊: 2015-03-29
- 專業(yè): 金屬非晶態(tài)、準晶和納米晶
3樓2015-10-25 09:43:03
【答案】應(yīng)助回帖
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
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你的問題等價于硅top-down刻蝕工藝，典型干法工藝是rie，濕法工藝是金屬催化腐蝕。方法很多，這兩種最為常見。 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
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2樓2015-10-24 20:46:32
送紅花一朵 |
～ [ 發(fā)自手機版 http://www.gaoyang168.com/3g ] |
4樓2015-10-25 09:44:10
zh821217339
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- 專業(yè): 高分子科學
5樓2016-03-28 22:19:36
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