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chankityi木蟲 (正式寫手)
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[求助]
求助5nm薄膜的截面觀察 已有2人參與
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| 各位蟲友大家好，本人最近在硅片表面生長(zhǎng)了一層厚度大約5nm左右很薄的薄膜，想觀察看是層狀生長(zhǎng)還是島狀生長(zhǎng)。但是用SEM截面發(fā)現(xiàn)放大倍數(shù)200k，標(biāo)尺200nm，還是看不清楚，表面更是什么也看不見。掃描已接近放大極限了。大家有什么好的建議嗎？謝謝 |
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2樓2015-10-30 10:52:51
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3樓2015-10-30 11:10:30
chankityi
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4樓2015-10-30 13:40:42
5樓2015-10-30 22:42:09
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