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小木蟲論壇-學術(shù)科研互動平臺 » 材料區(qū) » 功能材料 » 測試表征 » 求助5nm薄膜的截面觀察
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| 查看: 879 | 回復: 4 | ||
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chankityi木蟲 (正式寫手)
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[求助]
求助5nm薄膜的截面觀察 已有2人參與
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| 各位蟲友大家好，本人最近在硅片表面生長了一層厚度大約5nm左右很薄的薄膜，想觀察看是層狀生長還是島狀生長。但是用SEM截面發(fā)現(xiàn)放大倍數(shù)200k，標尺200nm，還是看不清楚，表面更是什么也看不見。掃描已接近放大極限了。大家有什么好的建議嗎？謝謝 |
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3樓2015-10-30 11:10:30
2樓2015-10-30 10:52:51
chankityi
木蟲 (正式寫手)
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4樓2015-10-30 13:40:42
5樓2015-10-30 22:42:09
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