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[求助]
多戶離子鍍TiAlN靶材不能正常引弧，急急急 已有1人參與
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| 小弟在做多戶離子鍍TiAlN，抽完真空，輝光清洗之后，靶材不能引弧。具體情況就是打開多戶電源后，靶材引弧了，然后過了不到1分鐘，弧光滅了，之后繼續(xù)打靶又有了，一會又滅了。。。之前懷疑是靶面到引弧頭的距離太短了，調到8mm，但是還是不行�？墒侵氨究粕厴I(yè)設計這個距離能正常工作啊�，F(xiàn)在不知道到底什么原因導致的，請求各位大神給點寶貴的意見，謝謝了.. |
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2樓2015-11-13 16:05:41
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