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lqc63667新蟲 (初入文壇)
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[求助]
多戶離子鍍TiAlN靶材不能正常引弧,急急急 已有1人參與
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| 小弟在做多戶離子鍍TiAlN,抽完真空,輝光清洗之后,靶材不能引弧。具體情況就是打開多戶電源后,靶材引弧了,然后過(guò)了不到1分鐘,弧光滅了,之后繼續(xù)打靶又有了,一會(huì)又滅了。。。之前懷疑是靶面到引弧頭的距離太短了,調(diào)到8mm,但是還是不行?墒侵氨究粕厴I(yè)設(shè)計(jì)這個(gè)距離能正常工作啊。現(xiàn)在不知道到底什么原因?qū)е碌,?qǐng)求各位大神給點(diǎn)寶貴的意見,謝謝了.. |
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