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Gavin6152金蟲 (小有名氣)
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[求助]
磁控共濺射Cu-Ta薄膜,制得的薄膜大片剝落,求解 已有15人參與
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si襯底室溫磁控共濺射Cu-Ta薄膜，功率為200W/100W，沉積40min，制得的薄膜大片剝落，有人了解是怎么回事嗎？難道是膜太厚？Cu/Ta功率為50W/250W時(shí)沒(méi)出現(xiàn)剝落現(xiàn)象 279474988333634564.jpg |
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lq2111919
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xhj543240343
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- 專業(yè): 冶金物理化學(xué)與冶金原理
3樓2015-11-11 22:24:30
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