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Gavin6152金蟲 (小有名氣)
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[求助]
磁控共濺射Cu-Ta薄膜,制得的薄膜大片剝落,求解 已有15人參與
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si襯底室溫磁控共濺射Cu-Ta薄膜,功率為200W/100W,沉積40min,制得的薄膜大片剝落,有人了解是怎么回事嗎?難道是膜太厚?Cu/Ta功率為50W/250W時(shí)沒出現(xiàn)剝落現(xiàn)象 279474988333634564.jpg |
金蟲 (著名寫手)

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