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新手已上路木蟲 (職業(yè)作家)
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[交流]
臺積電晶圓良率提升的秘密武器──納米微粒監(jiān)控系統(tǒng) 已有2人參與
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在半導體濕式制程中，晶圓表面的清洗、蝕刻與研磨皆需仰賴特定化學溶液進行，而溶液中納米粒子的尺寸與分布會影響晶圓電路圖案（pattern）的制程結(jié)果，必須持續(xù)監(jiān)控溶液中粒子的大小及數(shù)量，只要發(fā)現(xiàn)溶液粒子不符規(guī)格，就必須馬上暫停及更換，才能維持產(chǎn)品良率。 臺積電晶圓良率提升的秘密武器──納米微粒監(jiān)控系統(tǒng)過去監(jiān)測溶液中粒子的技術(shù)是激光光學設(shè)備，但是激光光學設(shè)備有局限，“看不到化學溶液中 40 納米以下的微�！�，當半導體制程日趨微縮，甚至進入 10 納米制程時候，半導體業(yè)者必須尋找能看到更小微粒的監(jiān)控技術(shù)。 這個技術(shù)瓶頸，就連晶圓代工龍頭臺積電都必須對外求援，最后找到了同在新竹的工研院，以“新世代溶液中納米微粒監(jiān)控系統(tǒng)”技術(shù)，讓這制程瓶頸有突破的可能。 傳統(tǒng)的溶液監(jiān)測方式不但監(jiān)測不到化學溶液中 40 納米以下的微粒，還會發(fā)生將氣泡誤判為微粒，影響混合信號的問題，但工研院的“新世代溶液中納米微粒監(jiān)控系統(tǒng)”技術(shù)采用“氣膠粒子量測技術(shù)”，將化學溶液氣霧化后進行氣體粒子的量測，除了能量測小到 3 納米的微粒外，也沒有誤判氣泡的問題。 “新世代溶液中納米微粒監(jiān)控系統(tǒng)”，將化學溶液氣霧化后，搭配微分電移動度儀和凝結(jié)粒子技術(shù)器，來量測化學溶液中的粒子粒徑及分布，此種創(chuàng)新量測手法突破現(xiàn)行設(shè)備僅能偵測 40 納米以上粒子的極限，一舉將可量測粒子尺寸范圍拉大為 3～1,000 納米，可望解決半導體制程持續(xù)微縮所面臨的難題之一。 除了運用于半導體制程外，此技術(shù)也能用于其他光電制造或生物制藥等產(chǎn)業(yè)。 |
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2樓2015-11-13 16:44:47
wangbingwei
木蟲 (正式寫手)
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3樓2015-11-14 09:47:46
新手已上路
木蟲 (職業(yè)作家)
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4樓2015-11-14 10:21:33
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