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[求助]
磁控濺射射頻電源自動(dòng)關(guān)閉
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非強(qiáng)磁性靶，射頻濺射金屬Sn。20W，5mTorr，設(shè)定濺射時(shí)間為1300s。實(shí)際濺射到余98s時(shí)，射頻電源突然自動(dòng)關(guān)閉。手觸摸射頻電源控制面板，稍微發(fā)熱。再次嘗試RF濺射該靶，功率氬氣流量保持一致，只嘗試了3分鐘，沒有出現(xiàn)問(wèn)題。而且RF濺射過(guò)程中，電壓值穩(wěn)定在135~134V。 用DC電源濺射Sn，電壓不穩(wěn)定。所以選擇的RF濺射。 請(qǐng)問(wèn)，有沒有人遇到射頻電源關(guān)閉的問(wèn)題？我該從哪里著手檢查呢？不盡感激。 |
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muxiao-chong
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6樓2015-12-05 13:29:25
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2樓2015-11-16 14:27:47
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hahaha0
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4樓2015-12-04 15:30:12
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