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磁控濺射射頻電源自動(dòng)關(guān)閉
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非強(qiáng)磁性靶,射頻濺射金屬Sn。20W,5mTorr,設(shè)定濺射時(shí)間為1300s。實(shí)際濺射到余98s時(shí),射頻電源突然自動(dòng)關(guān)閉。手觸摸射頻電源控制面板,稍微發(fā)熱。再次嘗試RF濺射該靶,功率氬氣流量保持一致,只嘗試了3分鐘,沒(méi)有出現(xiàn)問(wèn)題。而且RF濺射過(guò)程中,電壓值穩(wěn)定在135~134V。 用DC電源濺射Sn,電壓不穩(wěn)定。所以選擇的RF濺射。 請(qǐng)問(wèn),有沒(méi)有人遇到射頻電源關(guān)閉的問(wèn)題?我該從哪里著手檢查呢?不盡感激。 |
新蟲(chóng) (初入文壇)
鐵桿木蟲(chóng) (職業(yè)作家)
新蟲(chóng) (初入文壇)
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