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請問靶材成分怎么測試? 已有4人參與
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| 我購買的Mn0.5Zn0.5Fe2O4靶材,三英寸,厚3MM,由于磁控濺射出的薄膜用EDS測試成分偏差很大,不知是否是靶材的問題,我想請教各位大神,如何測試該靶材的成分?如何較精確的知道靶材中各個元素的摩爾比?另外可以測它的晶體結構嗎(它是塊體的,不能弄成粉末)? |
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木蟲之王 (文學泰斗)
peterflyer
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按你的樣品尺寸只能使用XRF或者直讀光譜來測試了,這兩種都是所謂的無損分析,但實際上在幾千瓦的X射線的照射下,一般的樣品或多或少都會發(fā)生微觀的變化,鍵的結合,原子的形態(tài)都會變化,對有些材料還有顏色的變化,所謂的無損在我看來也只是宏觀上的無損罷了 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
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