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dyho2010新蟲 (初入文壇)
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[求助]
請問靶材成分怎么測試？ 已有4人參與
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| 我購買的Mn0.5Zn0.5Fe2O4靶材，三英寸，厚3MM，由于磁控濺射出的薄膜用EDS測試成分偏差很大，不知是否是靶材的問題，我想請教各位大神，如何測試該靶材的成分？如何較精確的知道靶材中各個(gè)元素的摩爾比？另外可以測它的晶體結(jié)構(gòu)嗎（它是塊體的，不能弄成粉末）？ |
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3樓2015-11-16 14:41:59
兇殘的大灰兔 
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4樓2015-11-17 17:16:07
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5樓2015-11-17 17:19:18
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