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請問PLD和PEALD有哪些區(qū)別？相互比較的話優(yōu)缺點是哪些呢？大蝦們出來聊聊吧 已有2人參與
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如題 |
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PLD(pulseD laser deposition) 一種利用激光對物體進行轟擊,然后將轟擊出來的物質(zhì)沉淀在不同的襯底上，也可以理解為物理沉淀（PVD）， 這種機臺我沒有玩過。 PEALD(Plasma enhanced atomic layer deposition) 可以理解為化學(xué)沉淀CVD，利用plasma energy把gases(pulse的方式進入chamber，即一種gas進入chamber,接著Purge,第二種gas進入chamber,purge, plasma on) 電離成離子，即生成一層薄膜。 這種機臺我比較熟悉，我玩過ASM 的PEALD， |
2樓2015-11-23 16:14:31
VDFEPI
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PLD(pulseD laser deposition) 一種利用激光對物體進行轟擊,然后將轟擊出來的物質(zhì)沉淀在不同的襯底上，也可以理解為物理沉淀（PVD）， 這種機臺我沒有玩過。 PEALD(Plasma enhanced atomic layer deposition) 可以理解為化學(xué)沉淀CVD，利用plasma energy把gases(pulse的方式進入chamber，即一種gas進入chamber,接著Purge,第二種gas進入chamber,purge, plasma on) 電離成離子，即生成一層薄膜。 這種機臺我比較熟悉，我玩過ASM 的PEALD， |
3樓2015-11-23 16:14:47
4樓2015-11-30 09:34:06
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