 |
 |
 |
 |
 |
 |
||
 |
 |
 |
 |
 |
| 4 | 1/1 | 返回列表 |
| 查看: 3003 | 回復(fù): 3 | |||
[交流]
請(qǐng)問PLD和PEALD有哪些區(qū)別？相互比較的話優(yōu)缺點(diǎn)是哪些呢？大蝦們出來聊聊吧 已有2人參與
|
如題 |
回復(fù)此樓» 猜你喜歡
285求調(diào)劑
已經(jīng)有3人回復(fù)
-
求調(diào)劑
已經(jīng)有3人回復(fù)
-
招收博士1-2人
已經(jīng)有4人回復(fù)
-
08工科 320總分 求調(diào)劑
已經(jīng)有7人回復(fù)
-
生物學(xué)一志愿985，分?jǐn)?shù)349求調(diào)劑
已經(jīng)有7人回復(fù)
-
0856材料專碩353求調(diào)劑
已經(jīng)有4人回復(fù)
-
山東省面上項(xiàng)目限額評(píng)審
已經(jīng)有4人回復(fù)
-
一志愿北京化工大學(xué)070300 學(xué)碩336求調(diào)劑
已經(jīng)有5人回復(fù)
-
生物學(xué)071000 329分求調(diào)劑
已經(jīng)有4人回復(fù)
-
一志愿華中科技大學(xué)071000，求調(diào)劑
已經(jīng)有4人回復(fù)
VDFEPI
木蟲 (正式寫手)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 3772.3
- 紅花: 1
- 帖子: 445
- 在線: 121.2小時(shí)
- 蟲號(hào): 2711465
- 注冊(cè): 2013-10-10
- 性別: GG
- 專業(yè): 半導(dǎo)體電子器件
★
小木蟲: 金幣+0.5, 給個(gè)紅包，謝謝回帖
小木蟲: 金幣+0.5, 給個(gè)紅包，謝謝回帖
|
PLD(pulseD laser deposition) 一種利用激光對(duì)物體進(jìn)行轟擊,然后將轟擊出來的物質(zhì)沉淀在不同的襯底上，也可以理解為物理沉淀（PVD）， 這種機(jī)臺(tái)我沒有玩過。 PEALD(Plasma enhanced atomic layer deposition) 可以理解為化學(xué)沉淀CVD，利用plasma energy把gases(pulse的方式進(jìn)入chamber，即一種gas進(jìn)入chamber,接著Purge,第二種gas進(jìn)入chamber,purge, plasma on) 電離成離子，即生成一層薄膜。 這種機(jī)臺(tái)我比較熟悉，我玩過ASM 的PEALD， |
2樓2015-11-23 16:14:31
VDFEPI
木蟲 (正式寫手)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 3772.3
- 紅花: 1
- 帖子: 445
- 在線: 121.2小時(shí)
- 蟲號(hào): 2711465
- 注冊(cè): 2013-10-10
- 性別: GG
- 專業(yè): 半導(dǎo)體電子器件
|
PLD(pulseD laser deposition) 一種利用激光對(duì)物體進(jìn)行轟擊,然后將轟擊出來的物質(zhì)沉淀在不同的襯底上，也可以理解為物理沉淀（PVD）， 這種機(jī)臺(tái)我沒有玩過。 PEALD(Plasma enhanced atomic layer deposition) 可以理解為化學(xué)沉淀CVD，利用plasma energy把gases(pulse的方式進(jìn)入chamber，即一種gas進(jìn)入chamber,接著Purge,第二種gas進(jìn)入chamber,purge, plasma on) 電離成離子，即生成一層薄膜。 這種機(jī)臺(tái)我比較熟悉，我玩過ASM 的PEALD， |
3樓2015-11-23 16:14:47
4樓2015-11-30 09:34:06
相關(guān)版塊跳轉(zhuǎn)
我要訂閱樓主 467111170 的主題更新
| 4 | 1/1 | 返回列表 |
| 最具人氣熱帖推薦 [查看全部] | 作者 | 回/看 | 最后發(fā)表 | |
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 生物學(xué)一志愿985，分?jǐn)?shù)349求調(diào)劑 +4 | zxts12 2026-03-21 | 7/350 |
|
|---|---|---|---|---|
|
|
[考研] 材料工程專碩 348分求調(diào)劑 +3 | 冬辭. 2026-03-17 | 5/250 |
|
|
[考研] 材料 271求調(diào)劑 +5 | 展信悅_ 2026-03-21 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 求調(diào)劑 +3 | .m.. 2026-03-21 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 268求調(diào)劑 +9 | 簡(jiǎn)單點(diǎn)0 2026-03-17 | 9/450 |
|
|
|
[考研] 332求調(diào)劑 +3 | 鳳凰院丁真 2026-03-20 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 求調(diào)劑 +6 | Mqqqqqq 2026-03-19 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 機(jī)械專碩299求調(diào)劑至材料 +3 | kkcoco25 2026-03-16 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 303求調(diào)劑 +5 | 睿08 2026-03-17 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 083200學(xué)碩321分一志愿暨南大學(xué)求調(diào)劑 +3 | innocenceF 2026-03-17 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 265求調(diào)劑 +9 | 梁梁校校 2026-03-17 | 9/450 |
|
|
|
[考研] 材料 336 求調(diào)劑 +3 | An@. 2026-03-18 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 一志愿武理材料305分求調(diào)劑 +6 | 想上岸的鯉魚 2026-03-18 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 一志愿武漢理工材料工程專碩調(diào)劑 +9 | Doleres 2026-03-19 | 9/450 |
|
|
|
[考研] 085600材料與化工 +8 | 安全上岸！ 2026-03-16 | 8/400 |
|
|
|
[考研]
 295復(fù)試調(diào)劑
+8
|
簡(jiǎn)木ChuFront 2026-03-19 | 8/400 |
|
|
|
[考研] 085601專碩，總分342求調(diào)劑，地區(qū)不限 +5 | share_joy 2026-03-16 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 一志愿，福州大學(xué)材料專碩339分求調(diào)劑 +3 | 木子momo青爭(zhēng) 2026-03-15 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 283求調(diào)劑 +3 | 聽風(fēng)就是雨； 2026-03-16 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 機(jī)械專碩325，尋找調(diào)劑院校 +3 | y9999 2026-03-15 | 5/250 |
|