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[求助]
去除光刻膠上電極 已有2人參與
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各位親,, 第一步:將光刻膠旋涂在硅片襯底上;第二步:在光刻膠上磁控濺射Au和Cr;第三步,泡在丙酮里去除在光刻膠上的金和鉻; 發(fā)現(xiàn):幾個(gè)微米級(jí)別的很小的金和鉻去不掉; 問題:還可以怎樣去除? 結(jié)構(gòu)從上到下為Au,Cr,光刻膠,SiO2,Si片 |
光刻 |
專家顧問 (著名寫手)
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專家經(jīng)驗(yàn): +651 |
金蟲 (小有名氣)
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你用lift off工藝的時(shí)候丙酮里會(huì)有金屬污染的,本來就不會(huì)太干凈。 可以先鍍兩層金屬膜,然后光刻圖形,干法刻掉不要的金屬,這樣干凈 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
金蟲 (小有名氣)
專家顧問 (著名寫手)
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