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小木蟲論壇-學(xué)術(shù)科研互動平臺 » 材料區(qū) » 微米和納米 » 微納器件 » 去除光刻膠上電極
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[求助]
去除光刻膠上電極 已有2人參與
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各位親，， 第一步：將光刻膠旋涂在硅片襯底上；第二步：在光刻膠上磁控濺射Au和Cr；第三步，泡在丙酮里去除在光刻膠上的金和鉻； 發(fā)現(xiàn)：幾個微米級別的很小的金和鉻去不掉； 問題：還可以怎樣去除？ 結(jié)構(gòu)從上到下為Au，Cr，光刻膠，SiO2，Si片 |
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 光刻 |
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8樓2015-11-21 13:05:07
dorrnm
金蟲 (小有名氣)
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【答案】應(yīng)助回帖
★ ★ ★ ★ ★
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
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912694096: 金幣+5 2015-11-20 14:03:21
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你用lift off工藝的時候丙酮里會有金屬污染的，本來就不會太干凈。 可以先鍍兩層金屬膜，然后光刻圖形，干法刻掉不要的金屬，這樣干凈 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
2樓2015-11-19 00:41:53
3樓2015-11-19 14:06:28
yswyx 
專家顧問 (著名寫手)
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4樓2015-11-19 14:15:06
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