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勿忘心安里鐵蟲 (小有名氣)
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臺(tái)階儀怎樣來表現(xiàn) 表面粗糙度(如用統(tǒng)計(jì)的方式) 已有2人參與
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小木蟲: 金幣+0.5, 給個(gè)紅包，謝謝回帖
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首先明確下粗糙度的概念： 用一條直線通過最小二乘法來擬合你的輪廓線，你的輪廓線上每個(gè)點(diǎn)和這條擬合出來的線上都會(huì)有一個(gè)偏離值，這些偏離值的平均值就是Ra，平均粗糙度，這些偏離值的均方根值就是Rq，均方根粗糙度，或者RMS 這個(gè)臺(tái)階儀的操作方法是計(jì)算兩個(gè)光標(biāo)之間的粗糙度，將兩個(gè)光標(biāo)放在感興趣的區(qū)域兩端，在Calculation里面勾選Ra，Rq，Rt(峰谷值)，然后在數(shù)據(jù)輪廓界面鼠標(biāo)右鍵點(diǎn)擊Calculate，在輪廓下下面的區(qū)域會(huì)出現(xiàn)計(jì)算結(jié)果的表格 提醒：因?yàn)檫@臺(tái)儀器沒有高階算法，所以擬合的是用直線擬合，如果你掃出來一個(gè)臺(tái)階，假設(shè)臺(tái)階是1um，上下表面的粗糙度都是納米的級(jí)別，但你光標(biāo)分別放在薄膜沉底和薄膜表面上，你會(huì)得出一個(gè)幾百納米的錯(cuò)誤的粗糙度 |
2樓2016-04-18 17:26:04
3樓2016-04-20 12:41:27
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