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勿忘心安里鐵蟲 (小有名氣)
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[交流]
臺階儀怎樣來表現(xiàn) 表面粗糙度(如用統(tǒng)計(jì)的方式) 已有2人參與
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請問 臺階儀怎樣來表現(xiàn) 表面粗糙度(如用統(tǒng)計(jì)的方式)?感謝回復(fù)。 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |

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首先明確下粗糙度的概念: 用一條直線通過最小二乘法來擬合你的輪廓線,你的輪廓線上每個(gè)點(diǎn)和這條擬合出來的線上都會有一個(gè)偏離值,這些偏離值的平均值就是Ra,平均粗糙度,這些偏離值的均方根值就是Rq,均方根粗糙度,或者RMS 這個(gè)臺階儀的操作方法是計(jì)算兩個(gè)光標(biāo)之間的粗糙度,將兩個(gè)光標(biāo)放在感興趣的區(qū)域兩端,在Calculation里面勾選Ra,Rq,Rt(峰谷值),然后在數(shù)據(jù)輪廓界面鼠標(biāo)右鍵點(diǎn)擊Calculate,在輪廓下下面的區(qū)域會出現(xiàn)計(jì)算結(jié)果的表格 提醒:因?yàn)檫@臺儀器沒有高階算法,所以擬合的是用直線擬合,如果你掃出來一個(gè)臺階,假設(shè)臺階是1um,上下表面的粗糙度都是納米的級別,但你光標(biāo)分別放在薄膜沉底和薄膜表面上,你會得出一個(gè)幾百納米的錯(cuò)誤的粗糙度 |
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