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fengerhua金蟲(chóng) (初入文壇)
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[求助]
PECDV設(shè)備問(wèn)題求助，急��！
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各位大神好，本人剛剛接手PECVD設(shè)備一臺(tái)（PECVD-Orion III，美國(guó)），最近剛剛更換一瓶硅烷，出現(xiàn)了一系列問(wèn)題： ①SiO2出現(xiàn)彩虹條紋，之前沒(méi)有，見(jiàn)圖： ②做完實(shí)驗(yàn)腔室下電極（樣片臺(tái)）顏色異常黑； ③等離子清洗（CF4+O2）足夠長(zhǎng)時(shí)間之后，下電極（中間）變成黃色，之后再抽走管道殘余硅烷后又變成黑色，分別見(jiàn)圖： ④沒(méi)換硅烷氣體之前，也出現(xiàn)過(guò)其他帖子上說(shuō)的白色粉末和黃色油污狀東西（做Si3N4的時(shí)候），見(jiàn)圖： 跪求各位大神多多指點(diǎn)一下，不勝感激！ |
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fengerhua
金蟲(chóng) (初入文壇)
- 應(yīng)助: 1 (幼兒園)
- 金幣: 1429.5
- 帖子: 31
- 在線: 418.4小時(shí)
- 蟲(chóng)號(hào): 2133541
- 注冊(cè): 2012-11-18
- 專業(yè): 微/納機(jī)械系統(tǒng)
2樓2015-11-27 16:16:46
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