 |
 |
 |
 |
 |
 |
||
 |
 |
 |
 |
 |
| 2 | 1/1 | 返回列表 |
| 查看: 697 | 回復: 1 | ||
fengerhua金蟲 (初入文壇)
|
[求助]
PECDV設(shè)備問題求助，急�。�
|
|
各位大神好，本人剛剛接手PECVD設(shè)備一臺（PECVD-Orion III，美國），最近剛剛更換一瓶硅烷，出現(xiàn)了一系列問題： ①SiO2出現(xiàn)彩虹條紋，之前沒有，見圖： ②做完實驗腔室下電極（樣片臺）顏色異常黑； ③等離子清洗（CF4+O2）足夠長時間之后，下電極（中間）變成黃色，之后再抽走管道殘余硅烷后又變成黑色，分別見圖： ④沒換硅烷氣體之前，也出現(xiàn)過其他帖子上說的白色粉末和黃色油污狀東西（做Si3N4的時候），見圖： 跪求各位大神多多指點一下，不勝感激！ |
回復此樓» 猜你喜歡
求調(diào)劑
已經(jīng)有3人回復
-
化工學院（學院正式調(diào)劑群+聯(lián)系方式）
已經(jīng)有0人回復
-
金屬材料論文潤色/翻譯怎么收費?
已經(jīng)有110人回復
-
化工學院（學院官方群）-院士團隊招生-學生自由度高-培養(yǎng)模式成熟高效
已經(jīng)有0人回復
-
黑龍江大學分析化學招調(diào)劑
已經(jīng)有0人回復
-
武漢高校國家級人才團隊招收材料，化學，紡織等專業(yè)碩士調(diào)劑生
已經(jīng)有26人回復
-
紡大化工學院（官方群）-院士團隊招生-學生自由度高發(fā)展好-培養(yǎng)模式成熟
已經(jīng)有0人回復
-
溫州大學化材學院王娟課題組招生
已經(jīng)有5人回復
-
學院官方群-院士團隊招生-學生自由度高-培養(yǎng)模式成熟已有10余名學生赴985海外深造
已經(jīng)有0人回復
-
武漢紡織大學化工學院官方群-院士團隊招生-學生自由度高-10余名學生赴985海外深造
已經(jīng)有0人回復
-
南昌航空大學蔣華麟教授課題組招收化學、環(huán)境、碳達峰碳中和及相關(guān)專業(yè)碩士信息
已經(jīng)有0人回復
fengerhua
金蟲 (初入文壇)
- 應(yīng)助: 1 (幼兒園)
- 金幣: 1429.5
- 帖子: 31
- 在線: 418.4小時
- 蟲號: 2133541
- 注冊: 2012-11-18
- 專業(yè): 微/納機械系統(tǒng)
2樓2015-11-27 16:16:46
相關(guān)版塊跳轉(zhuǎn)
我要訂閱樓主 fengerhua 的主題更新
| 2 | 1/1 | 返回列表 |
| 最具人氣熱帖推薦 [查看全部] | 作者 | 回/看 | 最后發(fā)表 | |
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 309求調(diào)劑 +8 | 誰不是少年 2026-03-29 | 8/400 |
|
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 311求調(diào)劑 +6 | 冬十三 2026-03-24 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 各位老師好，我的一志愿為北京科技大學085601材料專碩 +9 | Koxui 2026-03-28 | 9/450 |
|
|
|
[考研] 334分 一志愿武理 材料求調(diào)劑 +7 | 李李不服輸 2026-03-26 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 298求調(diào)劑 +3 | 種圣賜 2026-03-29 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 2026年華南師范大學歡迎化學，化工，生物，生醫(yī)工等專業(yè)優(yōu)秀學子加入！ +3 | llss0711 2026-03-28 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 352分-085602-一志愿985 +5 | 海納百川Ly 2026-03-29 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 11408軟件工程求調(diào)劑 +3 | Qiu學ing 2026-03-28 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 346求調(diào)劑 一志愿070303有機化學 +3 | 蘿卜燉青菜 2026-03-28 | 3/150 |
|
|
|
[材料工程] 一志愿C9材料與化工專業(yè)總分300求調(diào)劑 +8 | 曼111 2026-03-24 | 9/450 |
|
|
|
[考研] 085701環(huán)境工程求調(diào)劑 +9 | 多久上課 2026-03-27 | 9/450 |
|
|
|
[考研] 一志愿211院校 344分 東北農(nóng)業(yè)大學生物學學碩，求調(diào)劑 +5 | 丶風雪夜歸人丶 2026-03-26 | 8/400 |
|
|
|
[考研] 一志愿華東理工大學081700，初試分數(shù)271 +6 | kotoko_ik 2026-03-23 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 298調(diào)劑 +3 | jiyingjie123 2026-03-27 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 材料考研求調(diào)劑 +3 | Dendel 2026-03-23 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 化學調(diào)劑一志愿上海交通大學336分-本科上海211 +4 | 小魚愛有機 2026-03-25 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 334分 一志愿武理-080500 材料求調(diào)劑 +4 | 李李不服輸 2026-03-25 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 材料與化工304求B區(qū)調(diào)劑 +3 | 邱gl 2026-03-25 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 上海電力大學材料防護與新材料重點實驗室招收調(diào)劑研究生（材料、化學、電化學，環(huán)境） +4 | 我愛學電池 2026-03-23 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 300分，材料，求調(diào)劑，英一數(shù)二 +5 | 超贊的 2026-03-24 | 5/250 |
|