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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 功能材料 » 測試表征 » 關于臺階儀的刻蝕速率測量
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勿忘心安里鐵蟲 (小有名氣)
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[求助]
關于臺階儀的刻蝕速率測量 已有1人參與
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請教做這離子束刻蝕方面的蟲友，現(xiàn)在關于刻蝕后的厚度測量（用臺階儀測量，（如圖四）有很多問題，我自己沒法兒解決。 1、當刻蝕的深度相對較小，約50nm以下，測量就變得非常麻煩，探針還經(jīng)常掃不出結果。所以我自己就只能推算數(shù)據(jù)。 2、臺階儀的攝像頭部分也有問題，我只能憑肉眼估計位置，探針可能有時正好掃過臟污上，對測量的數(shù)據(jù)肯定有很大影響。其實當開機時，攝像頭的圖像還能看到，一瞬就藍屏了，本人猜想是接頭不穩(wěn)所致，因儀器是別人課題組的，不能亂動，所以也就只能這樣瞎測了。（如圖一、二） 3、關于測試的數(shù)據(jù)處理，不只測量臺階，還測了整個表面的粗糙度�？赡苡行┑胤接忻黠@臟污或刻蝕殘留物，把這些數(shù)據(jù)剔除后，看剩余部分的表面情況，再做比較。有沒有做過這個處理的，希望能幫助我，謝謝！有沒有更好的方法。 4、測量的時候，有時會出現(xiàn)如圖的怪異曲線，不知為何？（如圖三） 給大家添麻煩了，因本人所做的，沒人可以交流，只能求助于此，感謝回復！ IMG_20151209_194437.jpg IMG_20151204_212339.jpg IMG_20151204_212127.jpg IMG_20151208_211111.jpg |
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 薄膜制備與特性 |
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【答案】應助回帖
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1、薄膜越薄，臺階儀越難測量，因為受你臺階制作質(zhì)量的影響，表粗糙度的影響，樣品自身翹曲的影響，臺階儀本身狀態(tài)的影響，所以，暫時無法解釋你的問題，我的經(jīng)驗，臺階制作足夠好的情況下，10nm以上沒太大問題，10nm~5nm定性表征（重復性波動范圍，5A重復性代表20A的上下波動），5nm以內(nèi)，拉倒吧 2、不會是接頭不穩(wěn)的情況，重裝CCD驅動，如果不能解決，最簡單的判斷是打開外殼看CCD尾端到電路板上之間的一個用熱縮管包住的小件燙不燙，燙的話我只能說祈禱還在保修吧 3、等于說你想清楚臺階儀的粗糙度測量遵循的一般規(guī)則，文字難以表述，有機會電聯(lián) 4、你所謂的曲線僅僅只是探針壓力不夠，你掃描的又是向下傾斜，所以會產(chǎn)生水平震蕩曲線，這時候其實是探針脫離樣品表面了已經(jīng)，調(diào)下傾斜就好了 |
2樓2016-04-18 18:21:06
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