 |
 |
 |
 |
 |
 |
||
 |
 |
 |
 |
 |
| 2 | 1/1 | 返回列表 |
| 查看: 1290 | 回復(fù): 1 | |||
勿忘心安里鐵蟲 (小有名氣)
|
[求助]
關(guān)于臺階儀的刻蝕速率測量 已有1人參與
|
|
請教做這離子束刻蝕方面的蟲友，現(xiàn)在關(guān)于刻蝕后的厚度測量（用臺階儀測量，（如圖四）有很多問題，我自己沒法兒解決。 1、當(dāng)刻蝕的深度相對較小，約50nm以下，測量就變得非常麻煩，探針還經(jīng)常掃不出結(jié)果。所以我自己就只能推算數(shù)據(jù)。 2、臺階儀的攝像頭部分也有問題，我只能憑肉眼估計(jì)位置，探針可能有時(shí)正好掃過臟污上，對測量的數(shù)據(jù)肯定有很大影響。其實(shí)當(dāng)開機(jī)時(shí)，攝像頭的圖像還能看到，一瞬就藍(lán)屏了，本人猜想是接頭不穩(wěn)所致，因儀器是別人課題組的，不能亂動，所以也就只能這樣瞎測了。（如圖一、二） 3、關(guān)于測試的數(shù)據(jù)處理，不只測量臺階，還測了整個(gè)表面的粗糙度�？赡苡行┑胤接忻黠@臟污或刻蝕殘留物，把這些數(shù)據(jù)剔除后，看剩余部分的表面情況，再做比較。有沒有做過這個(gè)處理的，希望能幫助我，謝謝！有沒有更好的方法。 4、測量的時(shí)候，有時(shí)會出現(xiàn)如圖的怪異曲線，不知為何？（如圖三） 給大家添麻煩了，因本人所做的，沒人可以交流，只能求助于此，感謝回復(fù)！ IMG_20151209_194437.jpg IMG_20151204_212339.jpg IMG_20151204_212127.jpg IMG_20151208_211111.jpg |
回復(fù)此樓» 收錄本帖的淘帖專輯推薦
 薄膜制備與特性 |
» 猜你喜歡
材料學(xué)碩297已過四六級求調(diào)劑推薦
已經(jīng)有3人回復(fù)
-
材料080500調(diào)劑求收留
已經(jīng)有5人回復(fù)
-
295復(fù)試調(diào)劑
已經(jīng)有3人回復(fù)
-
271材料工程求調(diào)劑
已經(jīng)有7人回復(fù)
-
265求調(diào)劑
已經(jīng)有8人回復(fù)
-
085410人工智能專碩317求調(diào)劑（0854都可以）
已經(jīng)有4人回復(fù)
-
一志愿武漢理工材料工程專碩調(diào)劑
已經(jīng)有6人回復(fù)
-
一志愿 南京航空航天大學(xué)大學(xué) ，080500材料科學(xué)與工程學(xué)碩
已經(jīng)有3人回復(fù)
-
279分求調(diào)劑 一志愿211
已經(jīng)有7人回復(fù)
-
304求調(diào)劑
已經(jīng)有5人回復(fù)
【答案】應(yīng)助回帖
|
1、薄膜越薄，臺階儀越難測量，因?yàn)槭苣闩_階制作質(zhì)量的影響，表粗糙度的影響，樣品自身翹曲的影響，臺階儀本身狀態(tài)的影響，所以，暫時(shí)無法解釋你的問題，我的經(jīng)驗(yàn)，臺階制作足夠好的情況下，10nm以上沒太大問題，10nm~5nm定性表征（重復(fù)性波動范圍，5A重復(fù)性代表20A的上下波動），5nm以內(nèi)，拉倒吧 2、不會是接頭不穩(wěn)的情況，重裝CCD驅(qū)動，如果不能解決，最簡單的判斷是打開外殼看CCD尾端到電路板上之間的一個(gè)用熱縮管包住的小件燙不燙，燙的話我只能說祈禱還在保修吧 3、等于說你想清楚臺階儀的粗糙度測量遵循的一般規(guī)則，文字難以表述，有機(jī)會電聯(lián) 4、你所謂的曲線僅僅只是探針壓力不夠，你掃描的又是向下傾斜，所以會產(chǎn)生水平震蕩曲線，這時(shí)候其實(shí)是探針脫離樣品表面了已經(jīng)，調(diào)下傾斜就好了 |
2樓2016-04-18 18:21:06
相關(guān)版塊跳轉(zhuǎn)
我要訂閱樓主 勿忘心安里 的主題更新
| 2 | 1/1 | 返回列表 |
| 最具人氣熱帖推薦 [查看全部] | 作者 | 回/看 | 最后發(fā)表 | |
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 材料080500調(diào)劑求收留 +5 | 一顆meteor 2026-03-13 | 5/250 |
|
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 265求調(diào)劑 +8 | 梁梁校校 2026-03-19 | 8/400 |
|
|
|
[考研] 一志愿 南京航空航天大學(xué)大學(xué) ，080500材料科學(xué)與工程學(xué)碩 +3 | @taotao 2026-03-20 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 279分求調(diào)劑 一志愿211 +7 | chaojifeixia 2026-03-19 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 304求調(diào)劑 +5 | 曼殊2266 2026-03-18 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 265求調(diào)劑 +6 | 梁梁校校 2026-03-17 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 321求調(diào)劑 +8 | 何潤采123 2026-03-18 | 10/500 |
|
|
|
[考研] 一志愿天津大學(xué)化學(xué)工藝專業(yè)（081702）315分求調(diào)劑 +11 | yangfz 2026-03-17 | 11/550 |
|
|
|
[考研] 一志愿天大材料與化工（085600）總分338 +5 | 蔡大美女 2026-03-13 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 311求調(diào)劑 +11 | 冬十三 2026-03-15 | 12/600 |
|
|
|
[考研] 331求調(diào)劑（0703有機(jī)化學(xué) +7 | ZY-05 2026-03-13 | 8/400 |
|
|
|
[考研] 299求調(diào)劑 +5 | △小透明* 2026-03-17 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 334求調(diào)劑 +3 | 志存高遠(yuǎn)意在機(jī)?/a> 2026-03-16 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 301求調(diào)劑 +4 | A_JiXing 2026-03-16 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 一志愿，福州大學(xué)材料專碩339分求調(diào)劑 +3 | 木子momo青爭 2026-03-15 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 333求調(diào)劑 +3 | 文思客 2026-03-16 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 0854控制工程 359求調(diào)劑 可跨專業(yè) +3 | 626776879 2026-03-14 | 9/450 |
|
|
|
[考研] 304求調(diào)劑 +3 | 曼殊2266 2026-03-14 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 求老師收留調(diào)劑 +4 | jiang姜66 2026-03-14 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 330求調(diào)劑 +3 | ?醬給調(diào)劑跪了 2026-03-13 | 3/150 |
|