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勿忘心安里鐵蟲 (小有名氣)
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[求助]
關(guān)于全自動(dòng)離子束刻蝕機(jī)的相關(guān)問題 已有2人參與
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請(qǐng)教相關(guān)蟲友們，關(guān)于全自動(dòng)離子束刻蝕機(jī)（如圖四）的相關(guān)問題。 1、考夫曼離子源的相關(guān)參數(shù)，目前儀器相對(duì)而言還算正常，但是加速級(jí)電流容易超過20mA,書上說可以通過降低陰極電流和提高屏極電壓來改變，可是效果不明顯，反而會(huì)影響到其它參數(shù)的穩(wěn)定性。并且我的離子束流密度最大只能到達(dá)0.7mA/cm2.(如圖一) 2、我調(diào)整了刻蝕的離子束入射角度，一般用0度，我分別用15、30、45、60、75度做對(duì)比，發(fā)現(xiàn)45度時(shí)的刻蝕速率最大，但目前表面粗糙度的情況還沒有對(duì)比。怎么解釋這個(gè)情況。（我所想到的是從物理轟擊后，粒子容易掉落的角度出發(fā)，可現(xiàn)在還不能自圓其說，慚愧！） (如圖二，實(shí)物圖) 3、我本想研究腔體壓強(qiáng)與刻蝕速率和效果的關(guān)系，但是不能實(shí)時(shí)監(jiān)控腔體壓強(qiáng)值（說明書所說，一旦通入氣體，則須關(guān)掉真空計(jì)，我在刻蝕過程中，是需一直通入氬氣的，那就不知道腔體壓強(qiáng)了）。我想知道大家是怎么做的，有文獻(xiàn)研究了相關(guān)問題。(如圖三) 4、流量計(jì)顯示的流量值在刻蝕的過程中會(huì)發(fā)生跳動(dòng)，這會(huì)影響到刻蝕參數(shù)，屏極一下子滅弧了，然后慢慢的變得正常。其實(shí)氬氣罐事先就把參數(shù)調(diào)好了，但是不知為何還出現(xiàn)此情況。 5、中和電流和陰極電流，我設(shè)定的是中和大于陰極，但是實(shí)際卻相反，這一點(diǎn)影響大嗎？ 感謝回復(fù)！ IMG_20151209_105353.jpg IMG_20151208_174442.jpg IMG_20151126_174347.jpg IMG_20151208_095800.jpg |
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問題1.不了解，建議問離子源生產(chǎn)廠家。2.刻蝕角度可以影響刻蝕速率，理論上講垂直入射，速率最小。3.高真空規(guī)管一般情況下是可以開啟的，不讓開應(yīng)該是離子源開啟對(duì)規(guī)管有影響，可以對(duì)規(guī)管加個(gè)屏蔽解決這一問題。4.流量計(jì)示數(shù)不穩(wěn)定，很可能是流量計(jì)本身有問題，不排除流量計(jì)兩段壓差巨變?cè)斐傻摹?.不了解，建議問廠家。 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
勿忘心安里2樓2015-12-11 09:56:29
上海依陽(yáng) 
禁蟲 (著名寫手)
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3樓2015-12-12 10:43:40
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5樓2015-12-13 23:47:46
上海依陽(yáng)
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6樓2015-12-14 07:31:18
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