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躬行不語(yǔ)木蟲(chóng) (小有名氣)
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[交流]
多弧鍍膜氣壓和基底負(fù)偏壓的影響關(guān)系
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| 最近，做實(shí)驗(yàn)，用多弧離子鍍鍍AlN,工作氣壓是0.2pa，基底負(fù)偏壓加不上去，設(shè)置50V，實(shí)際顯示44V，調(diào)試了下，當(dāng)氣壓增大為0.5pa，偏壓設(shè)置為50v，實(shí)際值為50V，當(dāng)氣壓為0,8pa時(shí)，設(shè)置50V,實(shí)際值80V,氣壓為1.0pa時(shí)，設(shè)置偏壓50V，實(shí)際值100v，請(qǐng)教下有沒(méi)有高手知道為什么，最初認(rèn)為是接地不好，還沒(méi)排除這個(gè)原因，不知道是不是氣壓增大，對(duì)基底負(fù)偏壓有影響，謝謝�。�！ |
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躬行不語(yǔ)
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2樓2015-12-13 20:19:55
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