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躬行不語木蟲 (小有名氣)
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[交流]
多弧鍍膜氣壓和基底負(fù)偏壓的影響關(guān)系
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| 最近，做實驗，用多弧離子鍍鍍AlN,工作氣壓是0.2pa，基底負(fù)偏壓加不上去，設(shè)置50V，實際顯示44V，調(diào)試了下，當(dāng)氣壓增大為0.5pa，偏壓設(shè)置為50v，實際值為50V，當(dāng)氣壓為0,8pa時，設(shè)置50V,實際值80V,氣壓為1.0pa時，設(shè)置偏壓50V，實際值100v，請教下有沒有高手知道為什么，最初認(rèn)為是接地不好，還沒排除這個原因，不知道是不是氣壓增大，對基底負(fù)偏壓有影響，謝謝�。。� |
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躬行不語
木蟲 (小有名氣)
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2樓2015-12-13 20:19:55
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