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xhs1814新蟲(chóng) (初入文壇)
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[求助]
磁控濺射平面靶材為什么會(huì)形成濺射溝道，哪位能幫忙解釋下 已有2人參與
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xhs1814
新蟲(chóng) (初入文壇)
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- 專(zhuān)業(yè): 凝聚態(tài)物性I:結(jié)構(gòu)、力學(xué)和
7樓2015-12-23 13:24:37
2樓2015-12-17 21:34:42
xhs1814
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3樓2015-12-18 10:05:46
【答案】應(yīng)助回帖
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一句話(huà)來(lái)概括，是因?yàn)榇趴貫R射時(shí)磁場(chǎng)對(duì)二次電子的約束作用，導(dǎo)致磁場(chǎng)跑道內(nèi)工作氣體如氬的離化率很高，進(jìn)而導(dǎo)致跑道內(nèi)濺射率高。形成濺射溝道。 發(fā)自小木蟲(chóng)Android客戶(hù)端 |
4樓2015-12-18 12:06:54
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