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audrey380104銀蟲 (小有名氣)
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[求助]
如何加工25nm寬的納米溝道 已有4人參與
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大家好，我現(xiàn)在想在SiO2或者Si上加工規(guī)則整齊的豎直向下的納米溝道，如下圖所示： 方法可以是電子束曝光（EBL）或者聚焦離子束(FIB)加工，最好是EBL。由于之前沒有親自操作過EBL，所以對(duì)于加工只有25nm左右寬度的溝道不太了解。看文獻(xiàn)上說這之中會(huì)遇到諸如鄰近效應(yīng)等的影響，知道了可以通過調(diào)節(jié)曝光和刻蝕過程中的各項(xiàng)參數(shù)來盡量修正臨近效應(yīng)。請(qǐng)大家給我點(diǎn)意見和建議，關(guān)于怎么較好的制備出這樣的納米溝道。謝謝   nanotrench.png |
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audrey380104
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4樓2015-12-24 11:31:37
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
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2樓2015-12-24 09:41:14
gzj99154037
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3樓2015-12-24 10:33:12
audrey380104
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5樓2015-12-24 11:32:07
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