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yswyx
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【答案】應(yīng)助回帖
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audrey380104: 金幣+50, ★★★很有幫助 2015-12-26 06:08:16
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2：1就已經(jīng)很難了，10：1不可能。側(cè)刻會(huì)把你的結(jié)構(gòu)吃光的。 RIE肯定不行，ICP或者DRIE也很難。 你這個(gè)設(shè)計(jì)高寬比是硬傷。而且垂直度也是沒辦法做到的一個(gè)陷阱。 至于光刻，別想了，只有EBL適合。麻煩的是，找一款合適的光刻膠會(huì)很麻煩，因?yàn)槟氵@個(gè)要干刻，要能抗得住刻蝕，最好是HSQ，但這個(gè)膠用起來相當(dāng)麻煩。你要自己做的話，光摸條件和準(zhǔn)備材料就會(huì)瘋的，最好找成熟的實(shí)驗(yàn)室做。 |
回復(fù)此樓11樓2015-12-25 13:41:23
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12樓2015-12-25 14:24:31
audrey380104
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13樓2015-12-26 06:07:52
reninhat
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superceng
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15樓2015-12-26 10:37:52
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16樓2015-12-26 16:24:33
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17樓2015-12-26 16:45:26
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良藥苦口啊 18樓2015-12-27 08:05:52
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19樓2015-12-28 12:31:31
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，沒辦法，工作就是這個(gè) 20樓2015-12-29 22:42:50
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