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[求助]
如何控制CVD反應(yīng)中的氣壓 已有5人參與
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LZ的CVD系統(tǒng)針閥完全打開(kāi)能抽到0.02 torr，實(shí)驗(yàn)所需氣壓大概在5torr，但感覺(jué)很難將氣壓控制在這個(gè)值。有時(shí)針閥擰到氣壓在5.0torr后，它還會(huì)慢慢升高，反應(yīng)到一半升到7.0torr，不得已再開(kāi)一點(diǎn)針閥讓壓力下去，退回5torr之后又會(huì)慢慢上升，這種情況給實(shí)驗(yàn)過(guò)程中的變量控制帶來(lái)極大阻礙。 想請(qǐng)問(wèn)各位做CVD的蟲(chóng)友，有什么辦法能讓氣壓精準(zhǔn)地控制在想要的值？LZ的系統(tǒng)需要做什么改進(jìn)？謝謝 |
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lg2880
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4樓2015-12-31 08:37:05
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2樓2015-12-30 23:48:13
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【答案】應(yīng)助回帖
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感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
jw329: 金幣+5, ★★★很有幫助 2016-03-07 21:25:48
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jw329: 金幣+5, ★★★很有幫助 2016-03-07 21:25:48
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那個(gè)針閥控制的是抽氣泵的抽氣速率嗎？ 感覺(jué)可能針閥是有檔位的，不是連續(xù)在變。 改改進(jìn)氣量試試，稍微按比例減小一點(diǎn)看看可不可以 發(fā)自小木蟲(chóng)Android客戶端 |
3樓2015-12-31 00:31:00
watchsky
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【答案】應(yīng)助回帖
| 首先，進(jìn)氣是不是穩(wěn)定的，是不是用高精度的MFC控制的流量？然后，隨著反應(yīng)的進(jìn)行，由于反應(yīng)物顆粒殘留等原因會(huì)導(dǎo)致尾氣管路流阻逐漸增大，另外，真空泵的功率是不是穩(wěn)定的，如果不穩(wěn)定會(huì)導(dǎo)致抽氣速率抖動(dòng)，這些靠手動(dòng)調(diào)節(jié)針閥是無(wú)法解決的，最好是在尾氣管路上安裝一個(gè)蝶閥，使之與腔體壓力計(jì)聯(lián)動(dòng)形成閉環(huán)控制，這樣才能保證腔體壓力穩(wěn)定。 |
5樓2016-01-18 13:01:13
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