 |
 |
 |
 |
 |
 |
||
 |
 |
 |
 |
 |
| 9 | 1/1 | 返回列表 |
| 查看: 1970 | 回復(fù): 8 | ||
[求助]
如何控制CVD反應(yīng)中的氣壓 已有5人參與
|
|
LZ的CVD系統(tǒng)針閥完全打開能抽到0.02 torr，實(shí)驗(yàn)所需氣壓大概在5torr，但感覺很難將氣壓控制在這個(gè)值。有時(shí)針閥擰到氣壓在5.0torr后，它還會(huì)慢慢升高，反應(yīng)到一半升到7.0torr，不得已再開一點(diǎn)針閥讓壓力下去，退回5torr之后又會(huì)慢慢上升，這種情況給實(shí)驗(yàn)過程中的變量控制帶來(lái)極大阻礙。 想請(qǐng)問各位做CVD的蟲友，有什么辦法能讓氣壓精準(zhǔn)地控制在想要的值？LZ的系統(tǒng)需要做什么改進(jìn)？謝謝 |
回復(fù)此樓» 猜你喜歡
化工學(xué)院（學(xué)院正式調(diào)劑群+聯(lián)系方式）
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
化工學(xué)院（學(xué)院官方群）-院士團(tuán)隊(duì)招生-學(xué)生自由度高-培養(yǎng)模式成熟高效
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
無(wú)機(jī)化學(xué)論文潤(rùn)色/翻譯怎么收費(fèi)?
已經(jīng)有294人回復(fù)
-
黑龍江大學(xué)分析化學(xué)招調(diào)劑
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
武漢高校國(guó)家級(jí)人才團(tuán)隊(duì)招收材料，化學(xué)，紡織等專業(yè)碩士調(diào)劑生
已經(jīng)有26人回復(fù)
-
紡大化工學(xué)院（官方群）-院士團(tuán)隊(duì)招生-學(xué)生自由度高發(fā)展好-培養(yǎng)模式成熟
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
溫州大學(xué)化材學(xué)院王娟課題組招生
已經(jīng)有5人回復(fù)
-
學(xué)院官方群-院士團(tuán)隊(duì)招生-學(xué)生自由度高-培養(yǎng)模式成熟已有10余名學(xué)生赴985海外深造
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
武漢紡織大學(xué)化工學(xué)院官方群-院士團(tuán)隊(duì)招生-學(xué)生自由度高-10余名學(xué)生赴985海外深造
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
南昌航空大學(xué)蔣華麟教授課題組招收化學(xué)、環(huán)境、碳達(dá)峰碳中和及相關(guān)專業(yè)碩士信息
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
湖北師范大學(xué)復(fù)試調(diào)劑
已經(jīng)有0人回復(fù)
» 本主題相關(guān)價(jià)值貼推薦，對(duì)您同樣有幫助:
- 【技術(shù)】石墨烯超級(jí)電容器性能強(qiáng)悍 讓鋰電池汗顏？（轉(zhuǎn)）
已經(jīng)有14人回復(fù)
- 檢驗(yàn)醫(yī)學(xué)展望——未來(lái)十年將帶來(lái)什么
已經(jīng)有2人回復(fù)
- 藥訊2012-12-24
已經(jīng)有5人回復(fù)
- 高溫等離子噴涂應(yīng)用進(jìn)展綜述
已經(jīng)有0人回復(fù)
- 化學(xué)所在石墨烯可控制備和性能研究取得突破
已經(jīng)有78人回復(fù)
- 化學(xué)所在石墨烯可控制備和性能研究方面取得系列進(jìn)展
已經(jīng)有17人回復(fù)
- 【其它】日本東北大學(xué)等通過激光CVD法對(duì)氧化鋁覆層進(jìn)行低溫高速成膜
已經(jīng)有0人回復(fù)
123xiaomu
新蟲 (初入文壇)
- 應(yīng)助: 1 (幼兒園)
- 金幣: 2141.6
- 帖子: 47
- 在線: 118.7小時(shí)
- 蟲號(hào): 2643284
- 注冊(cè): 2013-09-09
- 專業(yè): 無(wú)機(jī)非金屬類光電信息與功
2樓2015-12-30 23:48:13
dorrnm
金蟲 (小有名氣)
- 應(yīng)助: 35 (小學(xué)生)
- 金幣: 1155.8
- 紅花: 6
- 帖子: 125
- 在線: 54.4小時(shí)
- 蟲號(hào): 2061367
- 注冊(cè): 2012-10-14
- 性別: GG
- 專業(yè): 半導(dǎo)體電子器件
【答案】應(yīng)助回帖
★ ★ ★ ★ ★
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
jw329: 金幣+5, ★★★很有幫助 2016-03-07 21:25:48
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
jw329: 金幣+5, ★★★很有幫助 2016-03-07 21:25:48
|
那個(gè)針閥控制的是抽氣泵的抽氣速率嗎？ 感覺可能針閥是有檔位的，不是連續(xù)在變。 改改進(jìn)氣量試試，稍微按比例減小一點(diǎn)看看可不可以 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
3樓2015-12-31 00:31:00
lg2880
鐵桿木蟲 (正式寫手)
【鬼迷日眼】
- 應(yīng)助: 13 (小學(xué)生)
- 金幣: 6535.5
- 散金: 471
- 紅花: 5
- 帖子: 724
- 在線: 287.4小時(shí)
- 蟲號(hào): 765154
- 注冊(cè): 2009-05-07
- 性別: GG
- 專業(yè): 無(wú)機(jī)非金屬類光電信息與功
4樓2015-12-31 08:37:05
watchsky
新蟲 (初入文壇)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 3.5
- 帖子: 10
- 在線: 8.9小時(shí)
- 蟲號(hào): 799627
- 注冊(cè): 2009-06-26
- 性別: GG
- 專業(yè): 制造系統(tǒng)與自動(dòng)化
【答案】應(yīng)助回帖
| 首先，進(jìn)氣是不是穩(wěn)定的，是不是用高精度的MFC控制的流量？然后，隨著反應(yīng)的進(jìn)行，由于反應(yīng)物顆粒殘留等原因會(huì)導(dǎo)致尾氣管路流阻逐漸增大，另外，真空泵的功率是不是穩(wěn)定的，如果不穩(wěn)定會(huì)導(dǎo)致抽氣速率抖動(dòng)，這些靠手動(dòng)調(diào)節(jié)針閥是無(wú)法解決的，最好是在尾氣管路上安裝一個(gè)蝶閥，使之與腔體壓力計(jì)聯(lián)動(dòng)形成閉環(huán)控制，這樣才能保證腔體壓力穩(wěn)定。 |
5樓2016-01-18 13:01:13
6樓2016-01-18 20:24:34
Emerald7589
鐵蟲 (小有名氣)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 898.5
- 散金: 4
- 帖子: 97
- 在線: 30.6小時(shí)
- 蟲號(hào): 581804
- 注冊(cè): 2008-07-18
- 性別: GG
- 專業(yè): 碳素材料與超硬材料
7樓2016-07-06 18:40:38
8樓2016-07-07 09:21:31
Emerald7589
鐵蟲 (小有名氣)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 898.5
- 散金: 4
- 帖子: 97
- 在線: 30.6小時(shí)
- 蟲號(hào): 581804
- 注冊(cè): 2008-07-18
- 性別: GG
- 專業(yè): 碳素材料與超硬材料
9樓2016-07-07 13:45:25
相關(guān)版塊跳轉(zhuǎn)
我要訂閱樓主 KingWaiWong 的主題更新
| 9 | 1/1 | 返回列表 |
| 最具人氣熱帖推薦 [查看全部] | 作者 | 回/看 | 最后發(fā)表 | |
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 08工科，295，接受跨專業(yè)調(diào)劑 +3 | lmnlzy 2026-03-31 | 3/150 |
|
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 材料科學(xué)與工程調(diào)劑 +12 | 深V宿舍吧 2026-03-30 | 13/650 |
|
|
|
[考研] 調(diào)劑申請(qǐng) +5 | 張張張張zy 2026-03-31 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 291求調(diào)劑 +12 | Y-cap 2026-03-29 | 15/750 |
|
|
|
[考研] 材料與化工（0856）304求B區(qū)調(diào)劑 +6 | 邱gl 2026-03-30 | 10/500 |
|
|
|
[考研] 福建理工大學(xué)材料學(xué)院先進(jìn)合金團(tuán)隊(duì)招收考研調(diào)劑學(xué)生 +3 | 大華金商都 2026-03-30 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 求調(diào)劑，一志愿 南京航空航天大學(xué) ，080500材料科學(xué)與工程學(xué)碩，總分289分 +9 | @taotao 2026-03-29 | 9/450 |
|
|
|
[考研] 303求調(diào)劑 +7 | DLkz1314. 2026-03-30 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 0703一志愿9，初試成績(jī)：338，四六級(jí)已過，有科研經(jīng)歷，求調(diào)劑！ +7 | Zuhui0306 2026-03-25 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 322求調(diào)劑 +10 | 宋明欣 2026-03-27 | 10/500 |
|
|
|
[考研] 一志愿南開大學(xué)0710生物學(xué)359求調(diào)劑 +5 | 兔兔兔111223314 2026-03-29 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 286求調(diào)劑 +5 | Faune 2026-03-30 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 環(huán)境科學(xué)與工程334分求調(diào)劑 +6 | 王一一依依 2026-03-30 | 8/400 |
|
|
|
[考研] 材料與化工272求調(diào)劑 +21 | 阿斯蒂芬2004 2026-03-28 | 21/1050 |
|
|
|
[考研] 一志愿中南大學(xué)化學(xué)0703總分337求調(diào)劑 +6 | niko- 2026-03-27 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 343求調(diào)劑 +5 | 愛羈絆 2026-03-28 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 復(fù)試調(diào)劑，一志愿南農(nóng)083200食品科學(xué)與工程 +5 | XQTJZ 2026-03-26 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 314求調(diào)劑 +3 | 溪云珂 2026-03-26 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 286求調(diào)劑 +4 | lim0922 2026-03-26 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 0854人工智能方向招收調(diào)劑 +4 | 章小魚567 2026-03-24 | 4/200 |
|