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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 微米和納米 » 學術討論 » 如何控制CVD反應中的氣壓
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如何控制CVD反應中的氣壓 已有5人參與
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LZ的CVD系統(tǒng)針閥完全打開能抽到0.02 torr，實驗所需氣壓大概在5torr，但感覺很難將氣壓控制在這個值。有時針閥擰到氣壓在5.0torr后，它還會慢慢升高，反應到一半升到7.0torr，不得已再開一點針閥讓壓力下去，退回5torr之后又會慢慢上升，這種情況給實驗過程中的變量控制帶來極大阻礙。 想請問各位做CVD的蟲友，有什么辦法能讓氣壓精準地控制在想要的值？LZ的系統(tǒng)需要做什么改進？謝謝 |
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Emerald7589
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9樓2016-07-07 13:45:25
123xiaomu
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【答案】應助回帖
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jw329: 金幣+5, ★★★很有幫助 2016-03-07 21:25:48
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jw329: 金幣+5, ★★★很有幫助 2016-03-07 21:25:48
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那個針閥控制的是抽氣泵的抽氣速率嗎？ 感覺可能針閥是有檔位的，不是連續(xù)在變。 改改進氣量試試，稍微按比例減小一點看看可不可以 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
3樓2015-12-31 00:31:00
lg2880
鐵桿木蟲 (正式寫手)
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4樓2015-12-31 08:37:05
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