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TiO2-SiO2 多層膜反射膜-近紫外吸收問(wèn)題
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各位前輩/專業(yè)人士： 你們好。小蟲我最近在研究鍍膜的問(wèn)題，主要是想在石英、硅片基底上生長(zhǎng)多層的高反射膜。計(jì)劃選擇TiO2和SiO2材料對(duì)做多層介質(zhì)高反膜。 （1）如果選擇TiO2和SiO2兩種材料作為材料對(duì)，設(shè)計(jì)一個(gè)中心波長(zhǎng)為400nm的15層的高反射膜系，膜系結(jié)構(gòu)為S[H(LH)&7]A，每層TiO2和SiO2厚度分別為42.27nm，71.52nm。采用蒸發(fā)鍍膜或是磁控濺射方式制備多層膜，那么這個(gè)多層反射膜會(huì)不會(huì)存在嚴(yán)重的吸收問(wèn)題？吸收問(wèn)題會(huì)導(dǎo)致實(shí)際膜系的反射率與設(shè)計(jì)的反射率差別很大呢？ （2）需要說(shuō)明本身這種膜系不是用在激光領(lǐng)域的，如果存在吸收，那么會(huì)有反射率大的影響嗎？ （3）如果通過(guò)波段展寬的方式，將中心波長(zhǎng)為400nm和530nm的兩個(gè)多層膜系結(jié)合起來(lái)，總共31層，那么這種膜系在蒸發(fā)或是濺射鍍膜方式下技術(shù)有沒(méi)有什么問(wèn)題呢？ （4）如果這種材料對(duì)不合適，那么選擇什么材料對(duì)更合適呢？ 這個(gè)問(wèn)題對(duì)我比較重要，鑒于自己沒(méi)有過(guò)什么鍍膜經(jīng)驗(yàn)，請(qǐng)各位不吝指點(diǎn)。 謝謝！ 多層膜.png |
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