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TiO2-SiO2 多層膜反射膜-近紫外吸收問題
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各位前輩/專業(yè)人士： 你們好。小蟲我最近在研究鍍膜的問題，主要是想在石英、硅片基底上生長多層的高反射膜。計(jì)劃選擇TiO2和SiO2材料對做多層介質(zhì)高反膜。 （1）如果選擇TiO2和SiO2兩種材料作為材料對，設(shè)計(jì)一個中心波長為400nm的15層的高反射膜系，膜系結(jié)構(gòu)為S[H(LH)&7]A，每層TiO2和SiO2厚度分別為42.27nm，71.52nm。采用蒸發(fā)鍍膜或是磁控濺射方式制備多層膜，那么這個多層反射膜會不會存在嚴(yán)重的吸收問題？吸收問題會導(dǎo)致實(shí)際膜系的反射率與設(shè)計(jì)的反射率差別很大呢？ （2）需要說明本身這種膜系不是用在激光領(lǐng)域的，如果存在吸收，那么會有反射率大的影響嗎？ （3）如果通過波段展寬的方式，將中心波長為400nm和530nm的兩個多層膜系結(jié)合起來，總共31層，那么這種膜系在蒸發(fā)或是濺射鍍膜方式下技術(shù)有沒有什么問題呢？ （4）如果這種材料對不合適，那么選擇什么材料對更合適呢？ 這個問題對我比較重要，鑒于自己沒有過什么鍍膜經(jīng)驗(yàn)，請各位不吝指點(diǎn)。 謝謝！ 多層膜.png |
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2樓2016-01-01 19:41:46
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