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如何計(jì)算電子顯微鏡中電子束的大小以及電子束和樣品的interactive volume
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| 電子束大小是決定電子電子顯微鏡(SEM,TEM)分辨率的重要因素之一,然而電子束的大小與電子槍的類型(LaB6, FEG etc), 聚光鏡光柵 (condenser aperture) 大小,磁透鏡的象散 。。。。最近在SEM和TEM中做了EBSD,然后同一個(gè)樣品得到的形貌有差異,所以想從空間分辨率上來(lái)解釋,可是找不到具體的計(jì)算公式。不知道大神們能否提供一個(gè)簡(jiǎn)易且比較合理的計(jì)算公式啊。 |
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