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chichister金蟲 (正式寫手)
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[求助]
二氧化硅上鍍金，用什么過(guò)渡層金屬比較好？ 已有1人參與
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| 二氧化硅上直接鍍金的問(wèn)題：金薄膜對(duì)二氧化硅襯底的粘附性很差，一般要做過(guò)渡層，像鈦鎢、鉻等，最近嘗試先鍍了20nm的鈦?zhàn)鲞^(guò)渡層，然后鍍金，蒸鍍方式為電子書蒸發(fā)。但后續(xù)的工藝中依然有金薄膜嚴(yán)重脫落的問(wèn)題，請(qǐng)教各位蟲友，有什么辦法可增加金與二氧化硅之間的粘附性？或者用哪種金屬替代鈦?zhàn)鼍彌_層較好？ |
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2樓2016-02-22 09:10:13
chichister
金蟲 (正式寫手)
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3樓2016-02-22 12:35:44
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