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chichister金蟲 (正式寫手)
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[求助]
二氧化硅上鍍金，用什么過渡層金屬比較好？ 已有1人參與
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| 二氧化硅上直接鍍金的問題：金薄膜對(duì)二氧化硅襯底的粘附性很差，一般要做過渡層，像鈦鎢、鉻等，最近嘗試先鍍了20nm的鈦?zhàn)鲞^渡層，然后鍍金，蒸鍍方式為電子書蒸發(fā)。但后續(xù)的工藝中依然有金薄膜嚴(yán)重脫落的問題，請(qǐng)教各位蟲友，有什么辦法可增加金與二氧化硅之間的粘附性？或者用哪種金屬替代鈦?zhàn)鼍彌_層較好？ |
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chichister
金蟲 (正式寫手)
- 應(yīng)助: 2 (幼兒園)
- 金幣: 1081.4
- 紅花: 2
- 帖子: 375
- 在線: 82.5小時(shí)
- 蟲號(hào): 511886
- 注冊(cè): 2008-02-26
- 性別: GG
- 專業(yè): 半導(dǎo)體光電子器件
3樓2016-02-22 12:35:44
2樓2016-02-22 09:10:13
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