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ycyzrenlifei

金蟲(chóng) (小有名氣)

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[求助] 有關(guān)氫氟酸腐蝕二氧化硅（SiO_2）的問(wèn)題已有1人參與

我的基底是拋光的硅片，在上面我鍍了一層10微米厚的二氧化硅，現(xiàn)在用濕法刻蝕方法去弄二氧化硅。

我的問(wèn)題是把這硅片泡到BOE溶液中后，硅片兩面不是都被刻蝕了嗎？也就是說(shuō)，這個(gè)BOE溶液（含氫氟酸成分）只腐蝕二氧化硅還是連帶著硅也腐蝕了？

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1樓 2015-06-01 14:37:01

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superhamlet

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背面可以用光膠保護(hù)下。請(qǐng)問(wèn)樓主10微米的二氧化硅怎么沉積上去的？

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4樓2015-07-04 02:07:36

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zjlenny

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10um的氧化硅是怎么鍍上去的啊，用PECVD？腐蝕的話(huà)，背面可以貼一層膜保護(hù)起來(lái)的

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2樓2015-06-01 15:18:56

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ycyzrenlifei: 金幣+5, ★★★很有幫助 2015-06-26 11:22:43

BOE只腐蝕SiO2的，沒(méi)有光刻膠或其他保護(hù)的二氧化硅都會(huì)被腐蝕，不腐蝕Si，KOH才腐蝕硅

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3樓2015-06-25 14:02:18

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引用回帖:

2樓: Originally posted by zjlenny at 2015-06-01 15:18:56
10um的氧化硅是怎么鍍上去的啊，用PECVD？腐蝕的話(huà)，背面可以貼一層膜保護(hù)起來(lái)的

同問(wèn)，10微米的SiO2怎么鍍的。

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5樓2015-12-11 11:46:47

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