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ycyzrenlifei金蟲 (小有名氣)
南理漢子
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[求助]
有關(guān)氫氟酸腐蝕二氧化硅(SiO_2)的問題 已有1人參與
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我的基底是拋光的硅片,在上面我鍍了一層10微米厚的二氧化硅,現(xiàn)在用濕法刻蝕方法去弄二氧化硅。 我的問題是把這硅片泡到BOE溶液中后,硅片兩面不是都被刻蝕了嗎?也就是說,這個BOE溶液(含氫氟酸成分)只腐蝕二氧化硅還是連帶著硅也腐蝕了? |
鐵蟲 (初入文壇)
金蟲 (小有名氣)
金蟲 (初入文壇)
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