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就是你了,ok銀蟲 (初入文壇)
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[求助]
硅片濕法腐蝕背面保護(hù)問題 已有1人參與
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| 大家好,最近遇到個比較棘手的問題,光刻完進(jìn)行濕法腐蝕,用的TMAH溶液,腐蝕雙面,但需分開腐蝕,腐蝕一面時另一面需要保護(hù)起來,有什么好的方法進(jìn)行保護(hù)嗎,要求耐強(qiáng)堿,耐130度高溫,謝謝幫助! |

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