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yinuolixuan金蟲 (小有名氣)
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[交流]
磁控濺射的等離子體氣體問題 已有3人參與
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| 磁控濺射中我們一般選用的是氬氣，上次也有聽說選用氪的，關(guān)于這個是有什么分別？我用N2試過，反而生長的比氬氣還要快，這個是為什么？樣品生長的快慢在其他條件不變的情況下和等離子體的種類有什么關(guān)系？ |
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2樓2016-04-03 10:23:01
★
小木蟲: 金幣+0.5, 給個紅包，謝謝回帖
小木蟲: 金幣+0.5, 給個紅包，謝謝回帖
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理論上講，氬氣應(yīng)該比氮氣快，即氬的濺射產(chǎn)額高。惰性氣體氬氪氙濺射產(chǎn)額依次升高。 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
3樓2016-04-04 12:18:04
aaron5235
木蟲 (正式寫手)
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- 專業(yè): 金屬材料表面科學(xué)與工程
4樓2016-04-06 07:21:43
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