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yinuolixuan金蟲(chóng) (小有名氣)
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[交流]
磁控濺射的等離子體氣體問(wèn)題 已有3人參與
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| 磁控濺射中我們一般選用的是氬氣，上次也有聽(tīng)說(shuō)選用氪的，關(guān)于這個(gè)是有什么分別？我用N2試過(guò)，反而生長(zhǎng)的比氬氣還要快，這個(gè)是為什么？樣品生長(zhǎng)的快慢在其他條件不變的情況下和等離子體的種類有什么關(guān)系？ |
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已經(jīng)有13人回復(fù)
aaron5235
木蟲(chóng) (正式寫(xiě)手)
- 應(yīng)助: 18 (小學(xué)生)
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- 專業(yè): 金屬材料表面科學(xué)與工程
4樓2016-04-06 07:21:43
2樓2016-04-03 10:23:01
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小木蟲(chóng): 金幣+0.5, 給個(gè)紅包，謝謝回帖
小木蟲(chóng): 金幣+0.5, 給個(gè)紅包，謝謝回帖
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理論上講，氬氣應(yīng)該比氮?dú)饪�，即氬的濺射產(chǎn)額高。惰性氣體氬氪氙濺射產(chǎn)額依次升高。 發(fā)自小木蟲(chóng)Android客戶端 |
3樓2016-04-04 12:18:04
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