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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 微米和納米 » 合成表征 » 磁控濺射的等離子體氣體問題
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yinuolixuan金蟲 (小有名氣)
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[交流]
磁控濺射的等離子體氣體問題 已有3人參與
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| 磁控濺射中我們一般選用的是氬氣，上次也有聽說選用氪的，關于這個是有什么分別？我用N2試過，反而生長的比氬氣還要快，這個是為什么？樣品生長的快慢在其他條件不變的情況下和等離子體的種類有什么關系？ |
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2樓2016-04-03 10:23:01
3樓2016-04-04 12:18:04
aaron5235
木蟲 (正式寫手)
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4樓2016-04-06 07:21:43
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