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子溪清水新蟲 (初入文壇)
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[求助]
濺射WO3時(shí)的問題
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| 我們的濺射腔里周圍有三個(gè)靶,分布成三角,放樣品的托盤在中心,我用的是鎢靶,最近濺射WO3,濺射一段時(shí)間后,對(duì)著靶下面的基板上有很深的藍(lán)色,放樣品的托盤的四周也有很深的藍(lán)色,但是托盤中心(樣品所在處)是很淡的粉色。靶被拆卸重裝過幾次,之前濺射時(shí)沒有這種情況,我覺得是濺射粒子沉積的區(qū)域不在托盤中心,或者是通的氣體流量太大。請(qǐng)問有人知道是什么原因嗎? |
薄膜制備與特性 |
木蟲 (正式寫手)
打醬油

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打醬油

新蟲 (初入文壇)
新蟲 (初入文壇)
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