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[求助]
濺射WO3時的問題
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| 我們的濺射腔里周圍有三個靶，分布成三角，放樣品的托盤在中心，我用的是鎢靶，最近濺射WO3，濺射一段時間后，對著靶下面的基板上有很深的藍(lán)色，放樣品的托盤的四周也有很深的藍(lán)色，但是托盤中心（樣品所在處）是很淡的粉色。靶被拆卸重裝過幾次，之前濺射時沒有這種情況，我覺得是濺射粒子沉積的區(qū)域不在托盤中心，或者是通的氣體流量太大。請問有人知道是什么原因嗎？ |
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4樓2016-06-03 15:43:53
璞偉
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2樓2016-06-03 15:31:32
璞偉
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3樓2016-06-03 15:32:20
5樓2016-06-03 15:46:15
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