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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 網(wǎng)絡生活區(qū) » 有獎問答 » 學術幫助 » 濺射WO3時的問題
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濺射WO3時的問題
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| 我們的濺射腔里周圍有三個靶，分布成三角，放樣品的托盤在中心，我用的是鎢靶，最近濺射WO3，濺射一段時間后，對著靶下面的基板上有很深的藍色，放樣品的托盤的四周也有很深的藍色，但是托盤中心（樣品所在處）是很淡的粉色。靶被拆卸重裝過幾次，之前濺射時沒有這種情況，我覺得是濺射粒子沉積的區(qū)域不在托盤中心，或者是通的氣體流量太大。請問有人知道是什么原因嗎？ |
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6樓2016-06-04 00:20:16
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